產(chǎn)品AMAT半導體設備
產(chǎn)地美國
服務(wù)地區全國
服務(wù)類(lèi)型維修檢測
質(zhì)保三個(gè)月
上海仡捷電子科技有限公司 半導體設備維修 APPLIED MATERIALS應用材料設備維修 Lam Research 設備維修 MKS SEMOZON 140 HP臭氧發(fā)生器維修 AX8200臭氧發(fā)生器維修 AX8506臭氧發(fā)生器維修 專(zhuān)業(yè)臭氧發(fā)生器維修
維修:ASTEC(雅達)、日本COSEL (科索)、LAM(泛林)、APPLIED AMAT(應用材料)、美國AE電源(MDX、MDX II、
RFPP(RF、LF)VHF、HFV等)、 美國ENI電源(DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德國Singulus電源等。
美國維易科(Veeco)儀器 ENI RFC-5 RF RF射頻電源,高壓電源維修 ENI OEM-12A RF Generator射頻電源 控制器 匹配器維修
服務(wù):AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源,HiTek Power,Glassman、Spellman高壓電源
pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、
主要維修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等 RF 射頻電源及直流電源 。同時(shí)為各地區的半導體、數據存儲、光電子、真空鍍膜、平板顯示、研究所等行業(yè)提供級射頻電源維修保養。為 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護服務(wù)。
維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的設備電源,包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服務(wù):擁有一批技術(shù)人才,進(jìn)口射頻電源工程技術(shù)支持,消化吸收國外技術(shù)基礎上發(fā)展,鍛煉培養十幾名的維修工程師。
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